제품 상세 사양
| ITEMS | SPEC | TEST METHOD |
|---|---|---|
| Growth Technique | CZ | - |
| Diameter | 200.0±0.5mm | - |
| Type/Dopant | P/Boron, N/Phosphorus, N/Antimony | - |
| Resistivity | 1~30Ωcm | - |
| Crystal Orientation | (100), (111), (110) | - |
| Orientation Flat | SEMI-STD | - |
| Thickness | 725±25μm | - |
| Warp | < 30.0μm | - |
| Global TTV | < 30μm | - |
| Global TIR | < 5.0μm | - |
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