150mm (6英寸) 硅晶圆

产品详细规格

硅晶圆 砷化镓晶圆 蓝宝石晶圆 石英晶圆
50mm (2英寸) 75mm (3英寸) 100mm (4英寸) 125mm (5英寸) 150mm (6英寸) 200mm (8英寸) 300mm (12英寸)

一般规格

项目 规格 测试方法
生长技术 CZ -
直径 150.0±0.5mm -
类型/掺杂剂 P/硼, N/磷, N/锑 -
电阻率 1~30Ωcm -
晶体取向 (100), (111), (110) -
取向平面 SEMI-STD -
厚度 675±25μm -
翘曲 < 30.0μm -
全局TTV < 30μm -
全局TIR < 5.0μm -

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晶圆规格

Ω-cm
μm
片

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